सुबन्तावली सूक्ष्मात्मन्

पुमान्	एक	द्वि	बहु
प्रथमा	सूक्ष्मात्मा	सूक्ष्मात्मानौ	सूक्ष्मात्मानः
सम्बोधनम्	सूक्ष्मात्मन्	सूक्ष्मात्मानौ	सूक्ष्मात्मानः
द्वितीया	सूक्ष्मात्मानम्	सूक्ष्मात्मानौ	सूक्ष्मात्मनः
तृतीया	सूक्ष्मात्मना	सूक्ष्मात्मभ्याम्	सूक्ष्मात्मभिः
चतुर्थी	सूक्ष्मात्मने	सूक्ष्मात्मभ्याम्	सूक्ष्मात्मभ्यः
पञ्चमी	सूक्ष्मात्मनः	सूक्ष्मात्मभ्याम्	सूक्ष्मात्मभ्यः
षष्ठी	सूक्ष्मात्मनः	सूक्ष्मात्मनोः	सूक्ष्मात्मनाम्
सप्तमी	सूक्ष्मात्मनि	सूक्ष्मात्मनोः	सूक्ष्मात्मसु

समास सूक्ष्मात्म ॰

अव्यय ॰सूक्ष्मात्मम्