सुबन्तावली सूक्ष्म

नपुंसकम्	एक	द्वि	बहु
प्रथमा	सूक्ष्मम्	सूक्ष्मे	सूक्ष्माणि
सम्बोधनम्	सूक्ष्म	सूक्ष्मे	सूक्ष्माणि
द्वितीया	सूक्ष्मम्	सूक्ष्मे	सूक्ष्माणि
तृतीया	सूक्ष्मेण	सूक्ष्माभ्याम्	सूक्ष्मैः
चतुर्थी	सूक्ष्माय	सूक्ष्माभ्याम्	सूक्ष्मेभ्यः
पञ्चमी	सूक्ष्मात्	सूक्ष्माभ्याम्	सूक्ष्मेभ्यः
षष्ठी	सूक्ष्मस्य	सूक्ष्मयोः	सूक्ष्माणाम्
सप्तमी	सूक्ष्मे	सूक्ष्मयोः	सूक्ष्मेषु

समास सूक्ष्म ॰

अव्यय ॰सूक्ष्मम् ॰सूक्ष्मात्