सुबन्तावली सौक्ष्म्य

नपुंसकम्	एक	द्वि	बहु
प्रथमा	सौक्ष्म्यम्	सौक्ष्म्ये	सौक्ष्म्याणि
सम्बोधनम्	सौक्ष्म्य	सौक्ष्म्ये	सौक्ष्म्याणि
द्वितीया	सौक्ष्म्यम्	सौक्ष्म्ये	सौक्ष्म्याणि
तृतीया	सौक्ष्म्येण	सौक्ष्म्याभ्याम्	सौक्ष्म्यैः
चतुर्थी	सौक्ष्म्याय	सौक्ष्म्याभ्याम्	सौक्ष्म्येभ्यः
पञ्चमी	सौक्ष्म्यात्	सौक्ष्म्याभ्याम्	सौक्ष्म्येभ्यः
षष्ठी	सौक्ष्म्यस्य	सौक्ष्म्ययोः	सौक्ष्म्याणाम्
सप्तमी	सौक्ष्म्ये	सौक्ष्म्ययोः	सौक्ष्म्येषु

समास सौक्ष्म्य ॰

अव्यय ॰सौक्ष्म्यम् ॰सौक्ष्म्यात्